Высокоочищенный газ тетрафторида углерода (CF₄ / R14) чистотой 99,99%~99,999%. Бесцветный, без запаха, негорючий специальный газ для травления полупроводников, плазменной очистки, фторорганической химии и низкотемпературного охлаждения. Поставляется в баллонах, соответствующих стандартам ISO/DOT, с вентилями CGA600.
Тетрафторид углерода (CF₄ / R14), газ
Высокоочищенный специальный газ
Поставщик: Wenzhou Yingyue New Materials Co., Ltd.
CAS No.: 75-73-0 | UN No.: UN 1982 | HS Code: 2903399090
Класс опасности: Класс 2.2 — Негорючий, нетоксичный сжатый газ
1. Обзор продукта
Тетрафторид углерода (CF₄, также известный как тетрафторметан или хладагент R14) — это бесцветный, без запаха, негорючий специальный газ с отличной термической стабильностью и диэлектрическими свойствами. Мы поставляем газ CF₄ промышленного сорта (99,99%) и ультрачистого электронного сорта (99,999%). Производится с использованием передовых технологий очистки и строго тестируется по международным стандартам GB/ISO/DOT. Наш CF₄ отличается ультранизким содержанием примесей, стабильными характеристиками и согласованностью партий. Широко применяется в производстве полупроводников, плазменном травлении и очистке, низкотемпературном охлаждении и фторорганическом синтезе.
2. Ключевые технические характеристики
Параметр | Сведения |
Наименование продукта | Тетрафторид углерода (CF₄), газ |
Алиас | Тетрафторметан, Хладагент R14 |
Химическая формула | CF₄ |
Точка плавления | -183,6 ℃ |
Точка кипения | -128,1 ℃ |
Молекулярная масса | 88,004 |
Относительная плотность | 3,0 (воздух=1) |
Критическая температура | -45,6 ℃ |
Стандартный вентиль | CGA600, DISS 632 (нержавеющая сталь 316L) |
Стандартный баллон | 40 л / 47 л, стальной баллон |
Давление наполнения | 13 МПа (20 ℃) |
Цвет баллона | Светло-серый корпус баллона, чёрная трафаретная печать "CF₄/R14" |
3. Сорт чистоты и контроль примесей
Сорт чистоты | Типичное применение | Ключевые пределы примесей (ppmv, ≤) |
Промышленный сорт (99,99%) | Низкотемпературное охлаждение, фторорганический синтез | H₂O: 10; O₂: 10; N₂: 20 |
Электронный сорт (99,999%) | Травление кремниевых пластин, плазменная очистка | H₂O: 1; O₂: 0,5; Примеси металлов ≤ 0,1 ppb |
4. Физико-химические свойства
Тетрафторид углерода — это высокостабильный инертный фторсодержащий газ. При комнатной температуре он химически стабилен, не вступает в реакцию с кислотами, основаниями, окислителями или восстановителями; разлагается только на токсичные фторсодержащие соединения при высоких температурах выше 1000 ℃. Не горит, не взрывается в нормальных условиях, обладает высокой диэлектрической прочностью.
5. Упаковка и транспортировка
Мы предлагаем решения по упаковке опасных грузов, соответствующие стандартам GB/ISO/DOT. Стандартные стальные баллоны 40 л / 47 л с коррозионно-стойкими вентилями из нержавеющей стали 316L. Все упаковки соответствуют требованиям UN 1982; предоставляются полный паспорт безопасности (SDS), сертификаты чистоты партии и экспортные квалификационные документы для беспрепятственного прохождения таможенной очистки.
6. Основные области применения
1. Производство полупроводников: Основной газ для травления кремния, диоксида кремния и нитрида кремния при обработке пластин.
2. Холодильная промышленность: Низкотемпературный хладагент (R14) для криогенных холодильных систем.
3. Фторорганический синтез: Ключевой промежуточный продукт для производства других фторсодержащих соединений.
4. Плазменная обработка: Используется в процессах плазменной обработки поверхности и осаждения тонких плёнок.
7. Преимущества продукта
✅ Высокий контроль чистоты, соответствие строгим требованиям электронного сорта
✅ Стабильные химические свойства, обеспечивающие согласованность характеристик
✅ Упаковка мирового стандарта, безопасная для дальних перевозок
✅ Комплексная экспортная поддержка, полная документация опасных грузов
✅ Индивидуальные решения для разных спецификаций баллонов и давлений наполнения
8. Безопасность и экспортное соответствие
Все продукты Тетрафторид углерода соответствуют международным правилам перевозки опасных грузов UN 1982. Мы предоставляем полный комплект экспортных документов, включая SDS, сертификат анализа (COA) партии и квалификационные сертификаты.

Контакт: Jiang.S
Сотовый телефон: +86-19304758719
почта: info@yycheme.com
Whatsapp:+86-18966258719
Контактный адрес: Люсичжоу, Юэцин, Вэньчжоу, провинция Чжэцзян, 325604, Китай