Безводный хлористый водород (HCl), газ

Силан (SiH₄), газ

Гексафторид серы (SF₆), газ

Аммиак (NH₃), газ

Трифторид бора (BF₃), газ

Оксид углерода (CO), газ

Трихлорид бора (BCl₃), газ

Высокоочищенный газ тетрафторида углерода (CF₄ /

Оксид азота (NO), газ

Мембранный клапан высокого давления YYDV-1